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Referenzwert-Kalibriersystem für sehr niedrigen Druck
- Deckt den Bereich von 0 bis 15 kPa (113 Torr) in den Modi Relativdruck, absoluter Differenzdruck und absoluter Druck ab.
- Auflösung bis 1 mPa (0,0075 mTorr, 0,00102 mm H2O).
- Messunsicherheit bis: ±(5 mPa + 30 ppm des Messwerts) in den Modi Relativdruck und absoluter Differenzdruck, ±(8 mPa + 30 ppm des Messwerts) im Absolutdruckmodus.
- Im vollautomatischen Betrieb, einschließlich Druckregelung und Datenerfassung von Prüflingen, können Tests mit mehreren Abstufungen unbeaufsichtigt durchgeführt werden. Integrierte Korrektur für thermische Transpiration bei Bedarf erhältlich.
Das FPG8601 bietet die Möglichkeit, eine langfristige Rückführbarkeit mit sehr geringer Unsicherheit in dem Druckbereich aufrechtzuerhalten, der unter dem Bereich liegt, der von herkömmlichen Kolbenmanometern abgedeckt wird.
Der abgedeckte Messbereich reicht von Null (0,5 Pa für Absolutdruck) bis 15 kPa (112 Torr, 2,2 psi) sowohl im Relativdruck- als auch im Absolutdruckmodus. Die Messunsicherheit ergibt sich aus der Kombination von ±30 ppm des Messwerts und einer Schwellwertkomponente am unteren Ende, die niedrig genug ist, um die Kalibrierung normaler Transfernormale mit Bereichen von 130 Pa (1 Torr, 1,27 cm H2O) zu unterstützen, und sogar 13 Pa (100 mTorr, 0,127 cm H2O).
Die Messunsicherheit des FPG8601 wird in einer umfassenden Unsicherheitsanalyse dokumentiert. Wie sich die Stabilität des Geräts im Laufe der Zeit entwickelt, hängt von der Stabilität eines Wolframkarbid-Kolben-Zylinders und eines Edelstahlgewichts ab, die es möglich machen, dass das Kalibrierintervall des FPG8601 dem von herkömmlichen Kolbenmanometern ohne besondere Wartungsanforderungen entspricht.
Zusätzlich zu dieser hervorragenden metrologischen Leistung bietet das FPG8601 vollautomatischen Betrieb. Größe und Gewicht sind angemessen, und die Anforderungen des Geräts an die Umgebungsbedingungen übersteigen nicht die normalerweise in einem Highend-Metrologielabor herrschenden Bedingungen.
Funktionsweise
Messung
Das FPG8601 basiert auf dem bekannten Kolbenmanometerprinzip, bei dem Druck, der auf die effektive Fläche eines Kolben-Zylinders ausgeübt wird, in eine proportionale Kraft umgewandelt wird. Die Kraft, die aus dem Druck resultiert, wird allerdings nicht mit von der Schwerkraft beschleunigten Gewichten ausgeglichen, sondern mithilfe einer Kraftausgleichslastzelle gemessen, mit der der Kolben verbunden ist. Da sich oben und unten am Kolben-Zylinder Druckkammern befinden, kann der Referenzdruck, nach dem der Druck definiert ist, geändert werden (Atmosphäre für Relativdruck, Vakuum für Absolutdruck). Das Nullstellen der Lastzelle mit der oberen und unteren Kammer bei einem gemeinsamen Druck tariert das Gewicht des Kolbens und alle sonstigen Kräfte, die nicht auf den gemessenen Druck zurückzuführen sind. Die Druckmessung beginnt nun am Nullpunkt. Der Wert des ausgeübten Differenzdrucks errechnet sich aus der effektiven Fläche des Kolben-Zylinders und dem Nettokraftwert, der von der Lastzelle gemessen wird.
Um die Instabilität und den mechanisch komplizierten Vorgang der Kolbenzentrierung durch Drehen des Kolbens im Zylinder zu umgehen, wird der FPG-Kolben durch den Durchfluss eines unabhängigen, unter Druck gesetzten Schmiergases im Kolben-Zylinder-Spalt zentriert. Der konisch zulaufende Spalt verengt sich symmetrisch zu den äußersten Enden des Kolbens hin. Der Kolben-Zylinder-Spalt beträgt 1 bis 6 μm, und der Schmierdruck ist 40 kPa größer als der Referenzdruck. Dadurch bleibt der Durchfluss in die Messkammern sehr gering (weniger als 1 Scm³/min insgesamt). Die Kraft, die auf den Kolben wirkt, wird über ein Kardanverbindungssystem an die Lastzelle übertragen. Dieses System hält den Kolben in seinem Schwerpunkt. Der Durchgang des Verbindungssystems wird auch für die Zuführung des Kolben-Zylinder-Schmiergases verwendet. Die Lastzelle ist in einer hermetischen Kammer eingeschlossen, durch die das Schmiergas strömt. Durch ihre Bauweise unterstützt die Lastzellkammer die Aufrechterhaltung ihrer Temperaturkonstante, und das Schmiergas ist so beschaffen, dass die relative Feuchtigkeit sichergestellt ist.
Regelung
Der Druckcontroller des FPG8601 passt den Durchfluss mithilfe einer Durchflussbegrenzung an. Die vorgelagerte Seite der Durchflussbegrenzung ist mit der oberen FPG-Druckkammer verbunden, und die nachgelagerte Seite der Durchflussbegrenzung ist mit der unteren FPG-Druckkammer und der Atmosphäre oder einer unabhängigen Vakuumquelle für den Betrieb im Absolutdruckmodus verbunden. Der Regler umfasst mehrere Durchflussbegrenzungen mit unterschiedlichem Leitwert, wobei die für den jeweiligen Druckbereich passende Durchflussbegrenzung automatisch ausgewählt wird. Zwei Massendurchflussregler (MFC), einer zur groben Druckregelung und der andere im unteren Bereich zur feinen Druckregelung, werden parallel verwendet, um den Durchfluss in einer Kreisschaltung anzupassen. Die Regelung basiert auf dem Unterschied zwischen dem Drucksollwert und dem FPG-Druckmesswert. Ein zweistufiger Druckcontroller, dessen zweite Stufe auf die nachgelagerte Seite der Druckbegrenzungen referenziert ist, liefert einen stabilen Eingangsdruck an die Massendurchflussregler.
Automatischer Betrieb
Das FPG8601 umfasst eine Windows®-basierte Systemsteuerung. Die Systemsteuerung kommuniziert mit der Hardware des FPG8601 und den Geräten, die getestet werden (Prüflinge). Die Software „FPG Tools™“ überwacht und steuert den FPG-Betrieb und unterstützt eine Vielzahl von sehr nützlichen Funktionen, z. B. das vollautomatische, unbeaufsichtigte Durchführen von Prüfsequenzen mit Datenerfassung für das getestete Gerät. Alle FPG-Daten und Daten des getesteten Geräts werden in Datendateien im Delimited-Format gespeichert, die zur Auswertung in anderen Anwendungen einfach heruntergeladen werden können. Einige Funktionen der Software „FPG Tools“:
- Wechsel des Messmodus (Relativdruck/Absolutdruck)
- Automatische Nullstellung und automatische Bereichswahl der Lastzelle
- Datenpunkt-Durchschnittszeitanpassung
- Alarm bei extremer Änderung der Betriebsbedingungen
- Korrektur der thermischen Transpiration im unteren Absolutdruckbereich
- Konfiguration des zu testenden Geräts
- Definition und Speicherung der Testprozedur
- Vollautomatische Durchführung des Tests
- Aufzeichnung der Messergebnisse in Echtzeit
Messmodi Relativdruck, Absolutdruck und absoluter Differenzdruck
Das FPG8601 unterstützt drei verschiedene Messmodi:
- Relativdruck: Die untere Kammer des FPG und die „untere“ Seite des Tests sind miteinander verbunden und der Atmosphäre ausgesetzt.
- Absolutdruck: Die untere Kammer des FPG ist luftleer, und das restliche Vakuum wird von einem Vakuummanometer gemessen. Dieser Modus wird zur Kalibrierung abgeschlossener Absolutdruck-Prüflinge verwendet.
- Absoluter Differenzdruck: Die untere Kammer des FPG und die „untere“ Seite des Tests sind miteinander verbunden und luftleer. Dieser Modus wird zur Kalibrierung von Differenzdruck-Prüflinge relativ zum Vakuum verwendet.
Auftischsystem ohne besondere Umgebungsanforderungen
Das FPG8601 kann auf einem hochwertigen, 2 m großen Labortisch installiert werden. Der Druckcontroller wird meist unter dem Tisch montiert. Bei integrierter Absolutdruckfunktion muss die Stellfläche für die Vakuumpumpen berücksichtigt werden. Auf Wunsch ist zusammen mit dem System ein angepasster Montagetisch erhältlich.
Die Umgebungsanforderungen für den Betrieb des FPG8601 entsprechen den normalen Betriebsbedingungen in einem Highend-Metrologielabor.
Installations- und Schulungsservice
Für eine neue FPG8601-Installation empfiehlt sich ein drei- bis fünftägiger Installations- und Schulungsservice. Dieser Service umfasst die Einrichtung und das Testen des FPG8601-Systems sowie die Schulung der Benutzer, die das System bedienen und warten, einschließlich der Durchführung typischer Tests. Die Schulung kann vor der Lieferung am Fluke Calibration Standort in Phoenix, Arizona (USA) und/oder nach der Lieferung am Installationsstandort erfolgen.
Allgemein |
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Stromversorgung | FPG8601 85 bis 264 VAC, 50/60 Hz, 60 VA (max.) VLPC 85 bis 264 VAC, 50/60 Hz, 70 VA (max.) |
Normaler Betriebstemperaturbereich | 20 bis 26 °C |
Stabilität der Umgebungstemperatur | 0,1 °C/min (max. Geschwindigkeit) |
Gewicht | FPG8601-Plattform 30 kg FPG8601-Terminal 2 kg VLPC-Druckcontroller 41 kg |
Abmessungen | FPG8601-Plattform 53 cm H x 36 cm B x 35 cm T FPG8601-Terminal 12 cm H x 15 cm B x 20 cm T VLPC-Druckcontroller 31 cm H x 51 cm B x 53 cm T . x 21 Zoll) |
Systemsteuerung | Führt FPG Tools™, Windows®-Betriebssystem, RS232- und IEEE-488-Schnittstellen zum FPG und die Datenerfassung von Prüflingen aus |
Gesamtdruckbereich | Relativdruck, Absolutdruck, absoluter Differenzdruck 0 bis 15 kPa |
Testmedium | N2 oder Luft |
Moduswechselzeit | Absolutdruck zu Relativdruck 30 Minuten Relativdruck zu Absolutdruck 1 Stunde |
Schwingung | Wie bei herkömmlichen Kolbenmanometern müssen Vakuumpumpen über flexible Schläuche angeschlossen werden. |
Druckhilfsmittel | Kolben-Zylinder-Schmiergas (FPG8601): 700 bis 800 kPa, N2 oder Luft, sauber und trocken FPG-Referenzvakuum (für Absolutdruckmodi): Turbo-Pumpe: 378 m³/Std. normal, 8,10–6 Pa Höchstdruck Drehschieberpumpe: 16,5 m³/Std., 0,2 Pa Höchstdruck VLPC-Versorgung: 700 bis 800 kPa, sauberer und trockener N2 VLPC-Vakuum: 10 m³/Std. bei 0,5 Pa Antriebsluft (FPG8601 und VLPC): 400 bis 700 kPa Druckluft |
Druckanschlüsse | Test hoch (FPG8601): KF16 Test niedrig (FPG8601): KF16 Vakuumreferenz (FPG8601): KF25 Vakuum (FPG8601): 1/8 Zoll NPT F Antrieb/Schmierung (FPG8601): 1/8 Zoll NPT F Versorgung (VLPC): 1/8 Zoll NPT F Antrieb (VLPC): 1/8 Zoll NPT F Vakuum (VLPC): KF25 |
Druckmessung |
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Gesamtbereich | Relativdruck, Absolutdruck, absoluter Differenzdruck 0 bis 15 kPa |
Temperatureffekt | Gerätetemperatur wird überwacht; wenn Geschwindigkeit und/oder Höhe der Temperaturänderung leistungsentscheidend sind, wird eine entsprechende Meldung ausgegeben. |
Auflösung | Standard: 0,010 Pa Option für hohe Auflösung: 0,001 Pa |
Normale Druckmessunsicherheit | Standard: Relativdruck, absoluter Differenzdruck: ±(0,020 Pa + 30 ppm rdg) Absolutdruck: ±(0,025 Pa + 30 ppm rdg) Option für hohe Auflösung: Relativdruck, absoluter Differenzdruck: ±(0,005 Pa + 30 ppm rdg) Absolutdruck: ±(0,008 Pa + 30 ppm rdg) |
Normales Restvakuum im Absolutdruckmodus | Mit Turbo-Molekularpumpe: 0,04 bis 0,1 Pa Mit Drehschieberpumpe: 0,3 Pa bis 0,4 Pa |
Druckregelung |
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Regelungsbereiche (Pa) |
Relativdruckmodus: 5 überlappende Regelungsbereiche Mindestdruck: 0 Geregelter Mindestdruck: 0,1 Pa Absolutdruck: |
Regelungsgenauigkeit |
Standard: Relativdruck: ±(0,020 Pa + 100 ppm des Bereichs) Absolutdruckmodi: ±(0,020 Pa + 30 ppm des Bereichs) Option für hohe Auflösung: |
Nominales Testvolumen |
Relativdruck: bis zu 20 cm³/Seite (hoch und niedrig) Absolutdruck: bis zu 500 cm³/Seite (hoch und niedrig) |
Normale Druckeinstellzeit | 1 bis 2 Minuten, je nach Testvolumen |
Kolben-Zylinder |
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Nenngröße | Durchmesser: 35 mm Fläche: 10 cm² |
Kolbenwerkstoff | Wolframkarbid |
Zylinderwerkstoff | Wolframkarbid |
Befestigungssystem | Nichtdrehend, selbstzentrierend durch unabhängig, zentral abgegebenen Schmierdruck |
Kolben-Zylinder-Spalt | Symmetrischer, konisch zulaufender Spalt mit doppelter Verjüngung von 6 Mikron am mittleren Schmierpunkt bis 1 Mikron an den Zylinderenden |
Schmiergasqualität | N2 oder Luft, sauber und trocken, integrierte Einstellungsfunktion auf 40 bis 70 % rel. Feucht. |
Schmiergasdruck | Relativdruck: 40 kPa relativ Absolutdruckmodi: 40 kPa absolut Schmiergasdurchfluss: <1 Scm³/min insgesamt zu oberer und unterer Kammer |
Sekundäre Messung |
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Kolben-Zylinder-Temperatur (°C) | Bereich: 0 bis 40 Auflösung: 0,01 Unsicherheit: ±0,1 |
Restvakuum (Pa) | Bereich: 0 bis 13 Auflösung: 0,001 Unsicherheit: ±(0,5 % rdg + 5 mPa) |
Überwachungsmessung |
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Schmiergastemperatur (°C) | Bereich: 0 bis 40 Auflösung: 0,1 Unsicherheit: ±0,2 |
Schmiergasdruck (kPa) | Bereich: 0 bis 200 absolut Auflösung: 0,001 Unsicherheit: ±0,1 |
Schmiergasfeuchtigkeit (% rel. Feucht.) | Bereich: 5 bis 95 Auflösung: 1 Unsicherheit: ±10 |
Modelle | Beschreibung |
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FPG8601-SYS |
Kraftausgeglichenes Kolbenmanometersystem mit Standardauflösung Umfasst:
|
Accessories common to all models:
Zubehör | Beschreibung |
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FPG8601-MODE-V-REF |
Vakuumreferenzmodus |
MS-8601-2 |
Bausatz für 2,0 kg Masse mit Aufhängung |
BENCH-8601-ABS |
Auswahl verschiedener Vakuumpumpen für die FPG-Referenz und den VLPC-Regler im Absolutmodus (wenden Sie sich an Ihren Fluke-Außendienstmitarbeiter für die Druckkalibrierung) |
FPG8601-RES-HIGH |
Hohe Auflösung (1 mPa) |
Produkthandbücher |
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Anwendungshinweise |
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Datenblätter |
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Software |
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COMPASS for Pressure Calibration Software Download/Upgrade |
FPGTools PC Based Software |
Anweisungsblätter |
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